验收材料： 《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目水土保持设施验收报告》 《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目水土保持监测总结报告》 《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目水土保持设施验收鉴定书》
